国产5nm蚀刻机下半年交付台积电美国工厂?

近日有消息称，中微半导体设备(上海)股份有限公司制造的5nm蚀刻机将于今年下半年交付台积电美国工厂，这可以说是国产蚀刻机的一大突破。

　　那么什么是蚀刻机呢?

　　我们都知道芯片制造过程中，需要使用光刻机在硅片上刻画出芯片线路图，而接下来的工作则要交给蚀刻机。蚀刻机主要负责把多余的硅材料给“挖掉”，最终形成纹路极其细密的芯片。因此蚀刻机无论是技术难度还是重要性都不亚于光刻机。

　　中微半导体公司在蚀刻机领域有着先进的技术水准，本次5nm蚀刻机的交付也意味着成功打入了台积电5nm芯片生产线。

编辑：张书嘉